紫外线光源在高新技术领域的应用
下表例示了在高新领域主要的一些应用、相关波长以及通常使用的相关光源。
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应用 |
主要相关波长 |
一般使用光源 |
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光清洗 |
150-300nm |
石英低压水银放电管、光化学用水银灯、卤素激元体放电管（excimer lamp） |
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光蚀刻 |
150-300nm |
低压石英水银灯、卤素激元体激光、超高压水银灯 |
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光灰化（感光膜剥离） |
150-300nm |
低压水银灯、光化学用水银灯、卤素激元体放电管、超高压水银灯 |
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光改质、改性 |
150-300nm |
低压水银放电管、光化学用水银灯、卤素激元体放电管 |
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光刻、曝光 |
0.1-480nm |
光化学用水银灯、超高压水银灯、卤素激元体放电管、卤素激元体激光（excimer laser）、X线源、电子束、毛细管型超高压水银灯、Deep UV线灯、氙灯 |
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光CVD |
150-400nm |
光化学用水银灯、低压石英放电管、卤素激元体放电管、卤素激元体激光、同步加速器放射光 |
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光触媒、光催化作用 |
150-400nm |
低压石英水银灯、杀菌灯、紫外线荧光灯、高压水银灯 |
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光分解 |
150-400nm |
低压石英水银灯、杀菌灯、高压水银灯、卤素激元体放电管 |
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光氧化 |
150-400nm |
低压石英水银灯、杀菌灯、高压水银灯 |
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光合成 |
250-600nm |
石英水银灯、金卤灯 |
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光固化、硬化、干燥、胶合 |
200-480nm |
光化学用水银灯、金卤灯、氙灯、水银氙灯、紫外线荧光灯、无电极灯 |
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紫外线造型 |
200-480nm |
高压汞灯、光化学用水银灯、金卤灯、氙灯、低压石英水银灯、光造型用Ar激光器 |
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杀菌 |
200-320nm |
低压石英水银灯、杀菌灯、石英水银灯、冷阴极水银灯、无电极紫外线杀菌放电管 |
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基因导入技术 |
200-300nm |
紫外线低压汞灯、冷阴极汞灯 |
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臭氧检测 |
200-300nm |
冷阴极石英汞灯、低压石英水银灯 |
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光电子表面分析 |
10-400nm |
氦辉光放电管、激光、同步加速器放射光 |
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元素分析 |
100-400nm |
原子光谱灯、无极微波紫外光谱灯 |
